

| 異常狀況 | 可能影響 |
|---|---|
| 閥件作動不順 | 影響設備節拍與製程切換 |
| 漏氣或密封不良 | 造成真空不穩或製程條件異常 |
| 開關反應延遲 | 影響設備自動流程與警報判斷 |
| 零件磨耗老化 | 可能導致反覆故障或密封失效 |
| 污染或沉積 | 影響閥件壽命與作動穩定 |
| 控制訊號異常 | 需進一步確認閥件、感測器或控制模組狀態 |



| 異常狀況 | 可能影響 |
|---|---|
| 閥件作動不順 | 影響設備節拍與製程切換 |
| 漏氣或密封不良 | 造成真空不穩或製程條件異常 |
| 開關反應延遲 | 影響設備自動流程與警報判斷 |
| 零件磨耗老化 | 可能導致反覆故障或密封失效 |
| 污染或沉積 | 影響閥件壽命與作動穩定 |
| 控制訊號異常 | 需進一步確認閥件、感測器或控制模組狀態 |
